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測量范圍
分辨力
主軸精度 ±0.0125μm
系統(tǒng)精度 ≤0.03μm
*大直徑 Φ140(可擴(kuò)展)
*小內(nèi)經(jīng) Φ5mm(*小可測Φ1mm,需另配測針)
測量高度 200mm(可擴(kuò)展)
量程范圍 500μm
傳感器分辨率 0.001μm